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測量質(zhì)量流量時控制閉環(huán)壓力?

時間:2022-10-16閱讀:125
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“閉環(huán)壓力控制"就是指在你的壓力輸出點(diǎn)加一個檢測裝置,將壓力數(shù)值與設(shè)定值進(jìn)行比較,比較的結(jié)果傳輸給控制裝置,高降低補(bǔ),保持壓力恒定。

而質(zhì)量流量控制器(MFC)除了可以測量和控制質(zhì)量流量,并可以通過調(diào)節(jié)閥門以增加或減少質(zhì)量流量的方式而達(dá)到調(diào)節(jié)壓力的設(shè)定值。

在控制壓力時,閥門會根據(jù)壓力測量值進(jìn)行調(diào)整。假設(shè),您控制 Alicat 下游的壓力并希望達(dá)到 100 PSIA,如果此時壓力為 80 PSIA,MFC 將會自動打開閥門,直到壓力達(dá)到您的設(shè)定值。MFC可以同時控制壓力和測量流速的應(yīng)用中,這是非常有用的。有些應(yīng)用場景包括泄漏測試、流量檢查和質(zhì)量檢查,您必須保持特定的流量與壓力曲線。

Alicat 應(yīng)用工程師 Alyssa Jenkins 討論了閉環(huán)壓力控制的特點(diǎn)

使用 MFC 控制壓力的過程

密閉容器過程控制

我們的雙向質(zhì)量流量控制器具有三個端口(入口、過程、出口)和兩個閥門(進(jìn)口流量和排氣)。該裝置可用于控制一個密閉容器的壓力體積,一個閥門調(diào)節(jié)以增加/減少流量,另一個閥門可在壓力超過設(shè)定值時向大氣或真空泵排氣。在控制壓力的同時,可以使用流量累加器來跟蹤流體流動的總量,因此您還可以測量進(jìn)入容器的每種氣體的質(zhì)量流量。

校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)

轉(zhuǎn)子流量計(jì)測量體積流量,它們被調(diào)節(jié)在一個非常特定的壓力,以給出質(zhì)量流量。雖然它們可能以標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘 (SLPM) 或標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 (SCCM) 進(jìn)行標(biāo)記,但該質(zhì)量流量讀數(shù)僅在轉(zhuǎn)子流量計(jì)調(diào)整好的壓力下有效。另一方面,Alicat 有一個壓力傳感器,可在壓力變化時調(diào)整讀數(shù)。

Alicat 質(zhì)量流量裝置可用于控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)下游的壓力,同時直接在質(zhì)量流量計(jì)和轉(zhuǎn)子流量計(jì)上測量流量。為此,必須調(diào)整 Alicat 的 STP 條件和氣體選擇以匹配轉(zhuǎn)子流量計(jì)。然后可以將 Alicat 上的背壓控制點(diǎn)設(shè)置為等于轉(zhuǎn)子流量計(jì)的出口壓力。這創(chuàng)造了一個條件,其中 Alicat 控制轉(zhuǎn)子流量計(jì)的壓力,將 Alicat 標(biāo)準(zhǔn)化為可變面積流量計(jì),然后您可以引入流量來校準(zhǔn)轉(zhuǎn)子流量計(jì)。

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