硅晶圓是現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料，對(duì)于現(xiàn)代科技的發(fā)展具有至關(guān)重要的意義。微電子技術(shù)的發(fā)展已成為信息技術(shù)、航空航天、軍事、通信、能源等眾多領(lǐng)域的基礎(chǔ)，而這一切都離不開(kāi)硅晶圓的生產(chǎn)。而在硅晶圓制造工藝中還離不開(kāi)一種設(shè)備的身影，那就是超純水設(shè)備。

　　硅晶圓的制造過(guò)程中，需要使用大量的水進(jìn)行清洗和蝕刻。如果水質(zhì)中含有雜質(zhì)，就會(huì)對(duì)硅晶圓表面造成劃痕或腐蝕，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。超純水設(shè)備可以去除水中的微粒、有機(jī)物、無(wú)機(jī)物和其他雜質(zhì)，確保水質(zhì)達(dá)到很高純度，從而保證硅晶圓的質(zhì)量。

　　硅晶圓生產(chǎn)中應(yīng)用的超純水設(shè)備主要采用的是預(yù)處理+反滲透+EDI+混床的組合形式來(lái)制備超純水。設(shè)備具有高效低能、運(yùn)行成本低，水資源利用率高、體積較小、維修量小，運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。并且設(shè)備采用的EDI模塊可以避免添加任何化學(xué)品，不僅減少了化學(xué)品運(yùn)輸問(wèn)題，同時(shí)降低了系統(tǒng)運(yùn)行費(fèi)用。EDI模塊的應(yīng)用不會(huì)產(chǎn)生酸堿廢液，因此不需要酸堿中和處理，這也就減少了一定的投資成本。

　　硅晶圓作為現(xiàn)代微電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料，超純水設(shè)備能夠提供高純度的水，可以有效避免因水質(zhì)問(wèn)題引發(fā)的硅晶圓被劃而產(chǎn)生劃痕等問(wèn)題，保證了硅片的質(zhì)量和性能。因此，超純水設(shè)備是生產(chǎn)高質(zhì)量硅晶圓的必要條件。