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赫爾納貿(mào)易(大連)有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: PPSU接頭,PSI5接口,進(jìn)口插桶泵,車(chē)門(mén)關(guān)閉速度測(cè)試儀,jutec隔熱服,hptech燃油泵,3M摩擦墊片 |
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inficon熱電離真空計(jì) ATM 至超高真空雙規(guī) BPG552
2024-3-19 閱讀(934)
inficon熱電離真空計(jì)BPG552技術(shù)特點(diǎn):
對(duì)于需要測(cè)量范圍從 UHV (5 x10 -10 ) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用,Trigon™ 系列包括雙技術(shù) BPG552 儀表。BPG552 由 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和經(jīng)典、堅(jiān)固且可靠的 Pirani 傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙燈絲提供的精度、可重復(fù)性和使用壽命。
inficon熱電離真空計(jì)BPG552優(yōu)點(diǎn)
ü 雙量規(guī)(2 個(gè)傳感元件)可實(shí)現(xiàn)寬測(cè)量范圍、降低成本并節(jié)省空間
ü Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
ü 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)以避免燈絲過(guò)早燒毀
ü 自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)節(jié)減少了操作員干預(yù)
ü 電隔離電子器件以避免雜散電流
ü 滑動(dòng)排放模式可避免切換排放流時(shí)壓力跳躍和凍結(jié)
ü 由于可拆卸校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片,可烘烤性更長(zhǎng)
ü 設(shè)定點(diǎn)繼電器
ü 明亮、大尺寸 OLED 顯示屏(可 90° 旋轉(zhuǎn)),帶用戶界面
ü 模擬輸出、RS232C串行接口、EtherCAT®
ü 可與 VGC50x 控制器系列結(jié)合使用
ü 向后兼容 BPG402
ü RoHS 合規(guī)性
inficon熱電離真空計(jì)BPG552典型應(yīng)用
· 半導(dǎo)體工藝中的壓力測(cè)量
· 工業(yè)涂料
· 低至真空范圍系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制
inficon熱電離真空計(jì)BPG552規(guī)格
測(cè)量范圍(空氣、O 2、CO、N 2) 5×10 -10 … 1000 毫巴
準(zhǔn)確性
1×10 -8 … 1×10 -2毫巴 ±15 讀數(shù)
1 x 10 -2毫巴 … 1000 毫巴 讀數(shù)的±30%
重復(fù)性:讀數(shù)的 5%,10 -8 … 10 -2 mbar(穩(wěn)定 10 分鐘后)
暴露于真空的材料 不銹鋼、NiFe、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、Ni、鎢
inficon熱電離真空計(jì)BPG552備件零件號(hào) 描述
354-420 BPG552 備用傳感器頭,KF25
354-421 BPG552 備用傳感器頭,CF40