電阻率測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、錯單晶、硅片)電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電薄膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。測試儀主機由主機板、電源板、前面板、后背板、機箱組成。電壓表、電流表、電流調節(jié)電位器、恒流源開關及各種選擇開關均裝在前面板上。后背板上只裝有電源插座、電源開關、四探針頭連接插座、數據處理器連接插座及保險管。機箱底座上安裝了主機板及電源板，相互間均通過接插件聯(lián)接。
特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。
電阻率測試儀配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護箔膜。儀器配置了“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配數據處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的百分比變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。
電阻率測試儀適用：電線電纜行業(yè)、導體及半導體材料行業(yè)，碳素、焦化、石化、粉末冶金、高等院校、科研部門對新材料之研究，是檢驗和分析材料樣品質量的一種重要的工具及有效方法。
