純水是指純凈水一般以城市自來水為水源，通過多層過濾，可將微生物等有害物質(zhì)去除，但同時(shí)也去除了氟、鉀、鈣、鎂等人體所需的礦物質(zhì)。
一、臭氧滅菌超純水處理
臭氧(O3)的消毒原理是：臭氧在常溫、常壓下分子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定，很快自行分解成氧氣(O2)和單個(gè)氧原子(O);后者具有很強(qiáng)的活性，對(duì)細(xì)菌有*的氧化作用，將其殺死，多余的氧原子則會(huì)自行重新結(jié)合成為普通氧原子(O2)，不存在任何有毒殘留物，故稱無污染消毒劑，它不但對(duì)各種細(xì)菌(包括肝炎病毒，大腸桿菌，綠濃桿菌及雜菌等)有*的殺滅能力，而且對(duì)殺死霉素也很有效。
1、臭氧的滅菌機(jī)制及過程類屬于生物化學(xué)過程，氧化分解了細(xì)菌內(nèi)部氧化葡萄糖所必須的葡萄糖氧化酶。
2、直接與細(xì)菌、病毒發(fā)生作用，破壞其細(xì)胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA，蛋白質(zhì)、脂質(zhì)類和多糖等大分子聚合物，使細(xì)菌的物質(zhì)代謝生產(chǎn)和繁殖過程到破壞。
3、滲透胞膜組織，侵入細(xì)胞膜內(nèi)作用于外膜脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細(xì)胞發(fā)生通透畸變，導(dǎo)致細(xì)胞溶解死亡。并且將死亡菌體內(nèi)遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、枝原體及熱原(細(xì)菌病毒代謝產(chǎn)物、內(nèi)毒素)等溶解變性滅亡。
二、活性炭吸附純水處理工藝
活性炭依靠吸附和過濾作用主要去除水中的異色、異味、余氯、殘留消毒物等有機(jī)物雜質(zhì)。
三、薄膜微孔過濾(MF)純水處理工藝
薄膜微孔過濾法包括三種形式：深層過濾、篩網(wǎng)過濾、表面過濾。
深層過濾是以編織纖維或壓縮材料制成的基質(zhì)，利用隋性吸附或是捕捉方式來留住顆粒，如常用的多介質(zhì)過濾或砂濾;深層過濾是一種較為經(jīng)濟(jì)的方式，可去除98%以上的懸浮固體，同時(shí)保護(hù)下游的純化單元不會(huì)被堵塞，因此通常做為預(yù)處理。
表面過濾則是多層結(jié)構(gòu)，當(dāng)溶液通過濾膜時(shí)，較濾膜內(nèi)部孔隙大的顆粒將被留下來，并主要堆積在濾膜表面上，如常用的PP纖維過濾。表面過濾可去除99.9%以上的懸浮固體，所以也可作為預(yù)處理或澄清用。
篩網(wǎng)濾膜基本上是具有一致性的結(jié)構(gòu)，就象篩子一般，將大于孔徑的顆粒，都留在表面上(這種濾膜的孔量度是非常的)，如超純水機(jī)終端使用的用點(diǎn)保安過濾器;篩網(wǎng)過濾微孔過濾一般被置于純化系統(tǒng)中的終使用點(diǎn)，以去除后的殘留微量樹脂片、碳屑、膠體和微生物。
