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上海奕卿過(guò)濾科技有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品： 不銹鋼多袋式過(guò)濾器,大流量袋式過(guò)濾器,多層板框過(guò)濾機(jī) |
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超純水處理回收利用
2017-9-5 閱讀(1319)
過(guò)程簡(jiǎn)述
在半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過(guò)程中，由于生產(chǎn)設(shè)備的精密性和生產(chǎn)工藝的復(fù)雜性，對(duì)其配套設(shè)施提出了很高的要求，尤其對(duì)作為半導(dǎo)體行業(yè)血脈 的超純水系統(tǒng)更是高之又高。半導(dǎo)體行業(yè)超純水制造工藝可以概述為4個(gè)部分，分別為預(yù)處理部分、RO部分、電去離子部分和拋光混床部分；在有些半導(dǎo)體廠中， 也有用“陰床+陽(yáng)床”代替電去離子裝置的，主要根據(jù)原水水質(zhì)和產(chǎn)水水質(zhì)對(duì)弱電解質(zhì)的要求而定。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.避免傳統(tǒng)離子再生耗費(fèi)的大量酸堿，對(duì)環(huán)境更友好；
2.克服傳統(tǒng)離子設(shè)備再生周期相對(duì)較長(zhǎng)；
3.超濾反洗排水、一級(jí)RO濃水排水和CEDI濃水排水及其回收利用措施，利于節(jié)能減排；
4.節(jié)約水資源及半導(dǎo)體制造單位的運(yùn)行成本。
產(chǎn)品應(yīng)用
預(yù)處理部分
1.多介質(zhì)過(guò)濾器+活性炭過(guò)濾器;
2。粗過(guò)濾器+超濾裝置。
反滲透部分
反滲透膜.。
電去離子部分
EDI模塊和 CEDI模塊。
拋光混床
產(chǎn)品：
精密濾芯過(guò)濾器、RO反滲透設(shè)備
