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旋片真空泵抽除含有水蒸氣或顆粒物質(zhì)氣體時(shí)需求留意事項(xiàng)
旋片式真空泵的作業(yè)原理很簡(jiǎn)單,就是運(yùn)用旋片在泵腔內(nèi)不斷滾動(dòng)因?yàn)楸们蝗莘e的改變來取得真空。因?yàn)樾婵毡玫淖鳂I(yè)液大都為真空油,所以在操作和運(yùn)用進(jìn)程中需求留意以下幾點(diǎn):
1、假如所抽氣體含有許多的水蒸氣,在不考慮挑選水環(huán)泵或許真空機(jī)組的狀況下能夠挑選旋片泵,可是需求在旋片泵的進(jìn)氣口接通一個(gè)冷凝器,然后使水蒸氣能夠冷卻變成水,然后進(jìn)入泵內(nèi)然后到達(dá)抽真空的目的??墒切枨罅粢獾囊稽c(diǎn)是,因?yàn)槔淠鳑]辦法把悉數(shù)的水蒸氣液化掉,所以在運(yùn)用旋片泵的時(shí)分需求留意真空泵油的改變,假如發(fā)現(xiàn)真空泵油發(fā)生突變或許污濁或許乳化現(xiàn)象,應(yīng)及時(shí)更換真空泵油,這樣才干保證旋片泵在作業(yè)的時(shí)分到達(dá)所要求的真空度,否則真空度會(huì)下降,乃至損壞真空泵。
2、假如所抽氣體中含有固體顆粒,又想挑選旋片泵的話,需求在旋片泵的進(jìn)氣口管路中銜接上一個(gè)過濾器,這樣能夠有用的避免旋片泵因?yàn)轭w粒物質(zhì)導(dǎo)致真空度下降的問題,需求留意的是過濾器的合理挑選以及在運(yùn)用進(jìn)程中對(duì)過濾器的清潔
3、旋片泵不能抽除含氧過高的、有毒的、有爆炸性的浸蝕黑色金屬的和對(duì)真空油起化學(xué)作用的各種氣體,也不行做為壓縮機(jī)和輸送泵運(yùn)用。如有氣鎮(zhèn)設(shè)備的泵,可抽除必定量的可凝汽體。
慣例真空工藝對(duì)環(huán)境的要求
所謂慣例真空工藝系指沒有特殊要求的真空工藝進(jìn)程。這類真空設(shè)備(設(shè)備)對(duì)真空衛(wèi)生的要求是:
?、俚蔡幱谡婵諣顩r或真空中的真空設(shè)備的零件或外表,都要求無積存的污染源。外表無塵土、無鐵屑、無銹蝕。
?、谡婵赵O(shè)備的真空室外表要潤(rùn)滑,無松軟安排和氣孔,無死空間,內(nèi)焊縫無影響真空的缺陷。
?、鄹哒婵赵O(shè)備中,真空室內(nèi)的運(yùn)動(dòng)部件不得用機(jī)油作潤(rùn)滑劑,要用飽滿蒸氣壓低的分散泵油、硅油作潤(rùn)滑劑。法蘭、大門、觀察窗的密封部位可涂以高真空油脂。
?、軣o油超高真空體系(也稱“清潔的超高真空體系”)應(yīng)避免油蒸氣影響作業(yè)介質(zhì)的純度、外表特性或作業(yè)功能,為某種工藝進(jìn)程供給清潔的超高真空環(huán)境。
超高真空金屬體系常用1 Cr18Ni9Ti為結(jié)構(gòu)資料。有些部位可運(yùn)用無氧銅、可伐合金、純金、純銀、鎢、祖、鋁、欽等。絕緣資料常用玻璃和95真空瓷。而高分子聚合物因?yàn)榛蛟S分解出碳?xì)浠衔镂廴倔w系,不能運(yùn)用。飽滿蒸氣壓較高的資料,如鋅及其合金也不能運(yùn)用。
超高真空體系中資料的出氣是約束真空度上升的重要因素。一方面選用清洗、拋光、把零部件放在真空柜中保存或真空預(yù)熱除氣等辦法下降出氣速率,以改進(jìn)資料的原始處理狀況。另一方面還能夠選用真空體系高溫烘烤除氣的辦法,加快資料的出氣進(jìn)程,資料外表吸贊同吸收的氣體分子加快放出并被排出,冷卻后資料的出氣速率會(huì)下降幾個(gè)數(shù)量級(jí)。因而,關(guān)于一般需求到達(dá)10-7Pa以下壓力的真空體系,都必須烘烤除氣。
?、菡婵赵O(shè)備一般應(yīng)在溫度為15℃-30℃,相對(duì)濕度不高于70%的清潔的空氣流通的環(huán)境中作業(yè),冷卻水進(jìn)水溫度不高于250℃。
真空設(shè)備地點(diǎn)的實(shí)驗(yàn)室或車間應(yīng)堅(jiān)持清潔衛(wèi)生。地上為水磨石或木質(zhì)涂漆地上、無塵土。為避免機(jī)械泵作業(yè)時(shí)排出的氣體對(duì)實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的污染,可選用在泵的排氣口上面裝設(shè)排氣管道(金屬、橡膠管)的辦法,將氣體排出室外。
真空設(shè)備資料要求
對(duì)真空設(shè)備殼體資料的首要要求如下:
①必定的機(jī)械強(qiáng)度;
?、跉饷苄院?,不應(yīng)是多孔結(jié)構(gòu),不能有裂縫、小孔以及能形成漏氣的其它缺陷;
③較低的出氣速率和浸透速率;
?、茉谧鳂I(yè)溫度和烘烤溫度下的飽滿蒸氣壓要足夠低;
?、莼瘜W(xué)穩(wěn)定性好,不易氧化和腐蝕,不與體系中的作業(yè)液休(如油、汞)起化學(xué)作用;
?、逌囟确€(wěn)定性好,在必定溫度規(guī)模內(nèi)能堅(jiān)持其真空功能及機(jī)械強(qiáng)度;
?、呒庸ず?jiǎn)單,有較好的焊接功能,價(jià)格便宜。
常用殼體資料有兩大類:金屬和玻璃。金屬的長(zhǎng)處是:機(jī)械強(qiáng)度好;簡(jiǎn)單完成高精度的加工。玻璃的長(zhǎng)處是:通明,便于觀察設(shè)備內(nèi)部狀況;電絕緣;可對(duì)內(nèi)部的金屬零件用高頻加熱的辦法除氣、能用高頻火花槍檢漏;加工便利等。玻璃的缺陷是質(zhì)脆易碎。
1.金屬及合金
金屬真空殼體資料首要有以鐵、銅、鋁為根底的金屬及合金。如:低碳鋼、不銹鋼、無氧銅、紫銅、鋁以及覆鋁、銅、鎳的鋼或鐵材。其間不銹鋼耐銹蝕,有較低的出氣速率,是常用的的超高真空殼體資料。氫在鋁中的分散速率低,故烘烤后的出氣速率低,是往后有期望發(fā)展的超高真空殼體資料。
2.玻玻和石英
玻璃的品種許多,從真空技術(shù)的視點(diǎn)來看,大體上可分為:石英玻璃、“硬”玻璃、“軟”玻璃三類。軟玻璃有較低的軟化溫度(490℃ -610℃)和較大的線膨脹系數(shù)(82x10-7K-1-92x10-7K-1)。硬玻璃有較高的軟化溫度(555℃一806℃)和較小的線膨脹系數(shù)(35x10-7K-1-50x10-7K-1)。石英玻璃軟化溫度高達(dá)1500℃,線膨脹系數(shù)只要5.8x10-7K-1。
因?yàn)檐洸Ar(jià)格便宜,氮浸透速率很低,所以常選作電子管的殼體資料,這類玻璃可與鉑絲、杜美絲封接。石英玻璃價(jià)格貴,氦浸透速率,只用在高溫設(shè)備和要求透過紫外光的真空設(shè)備中。硬玻璃軟化溫度適中,便于加工和烘烤除氣,耐溫差功能好,是真空技術(shù)中常用的玻璃,硬玻璃按不同的膨脹系數(shù)又可分為鎢組玻璃和鑰組玻璃。
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