鼓風(fēng)機(jī)振動傳感校準(zhǔn)器，采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上，制成硅壓阻芯片，并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi)，引出電極引線。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器，它不同于粘貼式應(yīng)變計需通過彈性敏感元件間接感受外力，而是直接通過硅膜片感受被測壓力的。硅膜片的一面是與被測壓力連通的高壓腔，另一面是與大氣連通的低壓腔。硅膜片一般設(shè)計成周邊固支的圓形，直徑與厚度比約為20～60。在圓形硅膜片定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條，并接成全橋，其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū)，另兩條處于拉應(yīng)力區(qū)，相對于膜片中心對稱。此外，也有采用方形硅膜片和硅柱形敏感元件的。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條，兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋。

特點(diǎn)

l 可校準(zhǔn)多種類型的振動傳感器，如壓電式加速度傳感器、磁電式速度傳感器及電渦流式傳感器。

l 可對由上述傳感器所組成的各種振動測試儀表、振動監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)采集器及振動狀態(tài)分析系統(tǒng)進(jìn)行校準(zhǔn)。

l 校準(zhǔn)儀內(nèi)部可產(chǎn)生10、20、40、80、160、320、640及1280Hz等八種頻率的正弦信號。

l 所輸出的加速度、速度及位移三種振動信號的幅值可通過電位器改變，并有數(shù)字顯示。

l 可垂直、水平兩個方向使用，以校準(zhǔn)垂直、水平傳感器。

l 有交流供電和交流-直流供電兩種形式供用戶選擇。

l 體積小、精度高、操作簡單、使用方便，可在現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室使用。

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鼓風(fēng)機(jī)振動傳感校準(zhǔn)器

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