XH-MP150A設(shè)備是增強(qiáng)型手動分析探針臺，用于為各種半導(dǎo)體芯片、微波器件等提供一個光、電參數(shù)測試、分析的平臺，可吸附多種規(guī)格的圓片及芯片，并提供可調(diào)測試針及探卡測試針座。適用于大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、大生產(chǎn)線對芯片進(jìn)行科研分析、抽查測試等用途。設(shè)備可代替美國CASCADE公司的EPS150系列的手動探針臺。

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)：

項(xiàng) 目			性能指標(biāo)
可測圓片尺寸			2″、3″、4″、6″
工作臺	行程		160mm×160mm
	結(jié)構(gòu)		精密高剛性直線導(dǎo)軌，滾珠絲杠
	分辨率		0.001mm-0.01mm（根據(jù)需求絲桿導(dǎo)程可選）
	操作方式		手輪
承片臺Z向	接觸/分離		行程0.5mm
承片臺θ向	微調(diào)范圍		±15 º
針座平臺（可選）	升、降行程		25mm
	接觸/分離		0.66mm
吸片盤	吸片方式		真空吸附
	分檔		（2″、3″）、4″、6″單獨(dú)真空吸附，三檔可選
上、下片方式（可選）			快速抽屜式上、下片
顯微鏡及配件	立柱式支架		前、后，上、下、旋轉(zhuǎn)，仰角四維可調(diào)
	微調(diào)支架（可選）		X方向120mm，Y方向60mm，手輪調(diào)節(jié)
	顯微鏡		雙目體視顯微鏡45X
	照明燈		LED環(huán)形燈
相關(guān)配件	打點(diǎn)器		可調(diào)三維座，驅(qū)動DC24V
	測試探針		高彈性鎢針
	三維針座		磁性吸附式，可調(diào)范圍：x: ±6.5mm, y: ±6.5mm， z: ±6.5mm
外形尺寸			610mm×560mm×500mm（長×寬×高）
設(shè)備重量			約30 KG
使用環(huán)境		電源	AC 220V±22V 50Hz±1Hz
		功率	0.05kW
		真空	-80 KPa
		環(huán)境溫度	15ºC-30ºC
		相對濕度	＜60%

相關(guān)部件:

承片臺:

2、三維座：

3、打點(diǎn)器

4、實(shí)驗(yàn)室圖片

關(guān)鍵詞：芯片工作臺顯微鏡

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