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北京維意真空技術(shù)應(yīng)用有限責(zé)任公司
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更新時(shí)間：2022-08-25 14:19:34瀏覽次數(shù)：410次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線1.系統(tǒng)基本概況 系統(tǒng)工作框圖 圖1系統(tǒng)工作框圖 1.2設(shè)備圖片 圖2設(shè)備外形參考圖 2.分子泵組技術(shù)參數(shù) 2.1分子泵組系統(tǒng)組成 系統(tǒng)型號(hào)：DSC-1600L序號(hào)產(chǎn)品名稱型號(hào)單位數(shù)量1分子泵JTFB-1600臺(tái)12機(jī)械泵TRP-36臺(tái)13復(fù)合真空計(jì)PDF-5227套14轉(zhuǎn)接真空室CF250—CF150個(gè)15插板閥CF150手動(dòng)/電動(dòng)一體臺(tái)16防返油閥KF40壓差放氣閥個(gè)17
1. 系統(tǒng)基本概況
系統(tǒng)工作框圖
圖1系統(tǒng)工作框圖
1.2設(shè)備圖片
圖2 設(shè)備外形參考圖
2. 分子泵組技術(shù)參數(shù)
2.1 分子泵組系統(tǒng)組成
系統(tǒng)型號(hào)：DSC-1600L
序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 型號(hào) | 單位 | 數(shù)量 |
1 | 分子泵 | JTFB-1600 | 臺(tái) | 1 |
2 | 機(jī)械泵 | TRP-36 | 臺(tái) | 1 |
3 | 復(fù)合真空計(jì) | PDF-5227 | 套 | 1 |
4 | 轉(zhuǎn)接真空室 | CF250—CF150 | 個(gè) | 1 |
5 | 插板閥 | CF150手動(dòng)/電動(dòng)一體 | 臺(tái) | 1 |
6 | 防返油閥 | KF40壓差放氣閥 | 個(gè) | 1 |
7 | 放氣閥門 | KF16電磁放氣閥 | 個(gè) | 1 |
8 | 波紋管 | CF150*1500mm | 根 | 1 |
9 | 波紋管 | KF40*500mm | 根 | 1 |
10 | 移動(dòng)平臺(tái) | / | 套 | 1 |
2.2 分子泵組重要技術(shù)參數(shù)
序號(hào) | 名稱 | 型號(hào) | 技術(shù)指標(biāo) |
1 | 分子泵組 | DSC-1600L | 真空獲得為風(fēng)冷復(fù)合分子泵+機(jī)械泵，設(shè)備真空度在分子泵啟動(dòng)到400HZ后優(yōu)于3*10-3Pa，30分鐘以內(nèi)優(yōu)于5*10-4Pa，極限真空度3*10-5Pa。 機(jī)組為可移動(dòng)臺(tái)式小車結(jié)構(gòu)，能夠滿足不同位置排氣需要。 分子泵：JTFB-1600，抽速1600L/s的國產(chǎn)風(fēng)冷復(fù)合分子泵； 機(jī)械泵：TRP-36，抽速9L/s的合資機(jī)械泵； 復(fù)合真空計(jì)：PDF-5227，CF35電離規(guī)和KF16電阻規(guī)； 轉(zhuǎn)接真空室：CF250—CF150，高度200mm； 插板閥：CF150手動(dòng)/電動(dòng)一體； 防返油閥：KF40壓差隔斷放氣閥，電磁驅(qū)動(dòng)； 放氣閥門：KF16電磁放氣閥； 氣路結(jié)構(gòu)：簡(jiǎn)單氣路，無預(yù)抽； 波紋管：1根 CF150*1500mm+1根 KF40*500mm 移動(dòng)平臺(tái)：帶4面圍板的小車，帶控制系統(tǒng)。 |
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