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DIENER特型等離子清洗機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)Prep-5型

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更新時(shí)間：2022-07-15 15:49:14瀏覽次數(shù)：591次

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深圳藍(lán)星宇電子科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

真空艙體 Φ150mm × L320 mm　水平 (5 升
*石英/玻璃艙體Φ130mm,L300mm艙體容量：約4升/5升
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h)

詳細(xì)介紹

Prep-5型等離子清洗/刻蝕機(jī)

真空艙體 Φ150mm × L320 mm　水平（5 升

*石英/玻璃艙體Φ130mm,L300mm艙體容量：約4升/5升
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計(jì)時(shí)器可自動(dòng)設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計(jì)、針閥
* 使用氣體流量計(jì)和針閥控制氣體
* 自動(dòng)計(jì)時(shí)器控制等離子處理過(guò)程
* 半自動(dòng)控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動(dòng)阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù)：處理時(shí)間、功率、氣體
* 安全保護(hù)功能：真空觸發(fā)、艙門鎖

* 電磁閥保護(hù)，回流油霧不能進(jìn)入反應(yīng)艙
* 規(guī)格：W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源：AC 220V/50Hz
* 真空泵：萊寶Leybold Type Trivac D2.5B （2.5 m3/h）
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體（外置環(huán)形電極）或石英艙體

配件選裝指南

· 13.56MHz射頻發(fā)生器

· 2.45GHz射頻發(fā)生器

· 半自動(dòng)控制系統(tǒng)
　

· 全自動(dòng)控制系統(tǒng)- 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)

· 計(jì)算機(jī)（PC）控制系統(tǒng)- 操作輕松簡(jiǎn)便的控制系統(tǒng)同時(shí)可記錄處理的整個(gè)過(guò)程

· 附加氣體通路
　

· 自動(dòng)真空艙門

· 設(shè)備自動(dòng)門

· 條碼閱讀器

· 偏壓測(cè)量系統(tǒng)

· 碟型閥