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行業(yè)產(chǎn)品

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鄭州科佳電爐有限公司


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1200度三溫區(qū)CVD管式爐

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號KJ-1200T-S60LK3-3FZ

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地鄭州市

聯(lián)系方式:王倩查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2025-05-12 11:22:52瀏覽次數(shù):33次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹:KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成,溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹:


KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD管式爐由KJ-T1200管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計(jì)或浮子流量計(jì),混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。

KJ-T1200管式爐采用摻鉬合金加熱絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和宇電控溫儀表,能進(jìn)行30段程序控溫,移相觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用日本進(jìn)口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節(jié)能等優(yōu)點(diǎn)。

 

應(yīng)用范圍:



KJ-1200T-S60LK3-3FZ型CVD爐是一種特殊的CVD系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料,包括大范圍的絕緣材料,以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等,如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容(MLCC)氣氛燒結(jié)等實(shí)驗(yàn)。是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。



規(guī)格參數(shù):

高溫爐殼體 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面溫度小于55℃,內(nèi)爐膛表面涂有1750℃進(jìn)口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度 
功率 2.5 KW
電壓 AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 
加熱元件 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其延長使用壽命)
工作溫度 1200℃
連續(xù)工作溫度 1100℃
升溫速率 <= 20 ℃
爐管材質(zhì)和尺寸 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 
加熱區(qū)長度 三溫區(qū):200+200+200 mm
恒溫區(qū)長度 350  (+/-1 ℃) 
控溫系統(tǒng) PID30段程序化控溫
控溫精度 +/- 1 ℃
真空密封系統(tǒng) 兩個(gè)不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計(jì)和截止閥),漏氣率6 mtorr/min
真空泵 采用雙旋機(jī)械泵,機(jī)械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護(hù)環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米。
數(shù)字式真空顯示計(jì)   數(shù)顯真空計(jì),已安裝在不銹鋼法蘭上 
混氣系統(tǒng) 三個(gè)質(zhì)量流量計(jì)
三路質(zhì)量量程分別為
10-100 cc/min.
16-160 cc/min.
25-250 cc/min
內(nèi)部安裝有一混氣罐 
售后服務(wù) 質(zhì)保一年,終身保修


可選配件:

 

質(zhì)量混氣系統(tǒng)1臺(tái)、雙旋機(jī)械泵1臺(tái)、K型熱電偶1支、氣煉石英爐管1根、不銹鋼法蘭1套、不銹鋼爐鉤1、爐塞1對、高溫手套1副、說明書1份



 

 

 

 

 1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)(易損件除外),在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障,均予以免費(fèi)維修。保修期滿后,仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
 2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的,我公司將盡快做出處理方案,確保設(shè)備正常運(yùn)行。
 3、我公司設(shè)提供免費(fèi)的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
 4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
 5、本公司可提供運(yùn)輸服務(wù),包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全(用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等)。
 6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。

 

 

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