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微型蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

閱讀：45發(fā)布時間：2022-3-26

　　蠕動泵的應(yīng)用其實不僅僅在流體相關(guān)的行業(yè)，在其他行業(yè)的應(yīng)用也是非常廣泛的。而且蠕動泵分為很多類型，比如微型蠕動泵，在半導(dǎo)體行業(yè)也有很廣泛的應(yīng)用。下面普瑞微型蠕動泵廠家為您解析微型蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。

　　半導(dǎo)體制造要求始終控制工藝工具中的液體流動，苛刻的應(yīng)用之一是化學(xué)機械平坦化（CMP）。當(dāng)CMP工具不能將一致的漿料速率分配到拋光基材上時，它會對產(chǎn)量，化學(xué)品使用和材料完整性產(chǎn)生極大的負(fù)面影響。晶圓厚度的變化，缺陷密度的增加，工具停機時間和晶圓廢料的增加只是流程控制不良可能導(dǎo)致的一些問題。

微型蠕動泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

　　微型蠕動泵非常適合半導(dǎo)體行業(yè)的高純度和腐蝕性化學(xué)環(huán)境，對于CMP，提供了在拋光過程中的使用點漿料流分配到晶片所需的線性和可重復(fù)性，低剪切力對CMP漿料溫和，其變速操作允許在很寬的操作范圍內(nèi)控制流量，以保持過程的完整性。
　　漿料的性能可實現(xiàn)的晶圓平面度，微型蠕動泵通過控制漿料輸送和分配，有助于實現(xiàn)這一目標(biāo)。小流量蠕動泵的非侵入式設(shè)計提供了直的流動路徑，沒有死流區(qū)域，使?jié){料凝聚，硬化并污染過程。流速達(dá)到±0.5％。提供的穩(wěn)定的流體輸送不僅可確保漿料不斷流向拋光墊，還可減少漿料、化學(xué)品和去離子水的浪費。
　　常州普瑞流體技術(shù)有限公司已經(jīng)擁有了完整的蠕動泵生產(chǎn)體系，具備多年的技術(shù)積累，了解各行業(yè)的具體需求，能夠為用戶提供全系列蠕動泵產(chǎn)品與配套的方案，可以為客戶快速實現(xiàn)系統(tǒng)開發(fā)與集成提供技術(shù)支持與方案建議，節(jié)省客戶的開發(fā)與應(yīng)用周期，節(jié)約成本。

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