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更新時(shí)間：2024-03-14 17:57:59瀏覽次數(shù)：518次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。
AMC空氣分子污染物VOC監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 阿瑞斯-µVOC
概述：
醋酸、草酸 、胺類(lèi)、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、六甲基二硅胺烷（HMDS）、鄰苯二甲酸二辛酯（DOP）、鄰苯二甲酸二丁酯（DBP）、鄰苯二甲酸二乙酯（DEP）、異丙醇、丙酮、硼酸三甲酯、二甲苯、磷酸三乙酯---等其他有機(jī)物 。
空氣分子污染物 (AMC) 對(duì)于高科技生產(chǎn)過(guò)程是關(guān)鍵性因素，特別是微電子行業(yè)，有機(jī)污染物是生產(chǎn)過(guò)程中的消極因素，會(huì)導(dǎo)致高科技公司因產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題而產(chǎn)生的成本增加。
無(wú)空氣分子污染物生產(chǎn)是理想的生產(chǎn)目標(biāo)，通過(guò)污染物源頭控制、傳播控制，實(shí)時(shí)監(jiān)控污染物濃度并結(jié)合多級(jí)過(guò)濾器以及新風(fēng)系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)，持久監(jiān)測(cè)AMC濃度，有助于掌握污染物源頭、穩(wěn)定生產(chǎn)、預(yù)防過(guò)濾器突發(fā)性壽命減少等。
阿瑞斯-µVOC提供給客戶一個(gè)實(shí)時(shí)快捷持續(xù)的在線空氣分子污染物AMC監(jiān)測(cè)方案，不需要采樣，離線測(cè)量。
檢測(cè)限達(dá)到sub-ppb級(jí)
潔凈室環(huán)境中的空氣分子污染物AMC，內(nèi)部來(lái)自建筑材料釋出、設(shè)備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過(guò)程中化學(xué)藥品逸散、人員產(chǎn)生、管路泄露、設(shè)備維護(hù)修理時(shí)散發(fā)等，外部來(lái)自環(huán)境空氣中存在的氣相污染物，以及潔凈室的廢氣排放重新送回潔凈室。
一旦AMC空氣分子污染物超標(biāo)會(huì)引起一系列嚴(yán)重后果，比如晶圓廢棄、停產(chǎn)、重新凈化潔凈室等。
空氣分子污染物問(wèn)題:從潔凈間到生產(chǎn)機(jī)臺(tái)加工
隨著IC產(chǎn)品生產(chǎn)成本的增加，空氣分子污染物AMC的監(jiān)測(cè)變得越來(lái)越重要。
污染物從加工到超凈間的擴(kuò)散，并且成份的增加，分子污染物來(lái)自多個(gè)源頭，比如生產(chǎn)化學(xué)藥劑、建筑材料、潔凈間設(shè)備裝置、操作人員等。
阿瑞斯-µVOC系統(tǒng)意味著潛在鑒別空氣分子污染物與產(chǎn)生污染問(wèn)題和減少污染問(wèn)題之間的關(guān)聯(lián)，完整的全量程全組份實(shí)時(shí)sub-ppb級(jí)測(cè)量，提供早期AMC監(jiān)測(cè)和快速確定這些污染問(wèn)題的原因。
工作原理：
GC氣相色譜是分離多種復(fù)雜混合物常用的技術(shù)，這種技術(shù)依賴于揮發(fā)性有機(jī)混合氣體在色譜柱的多組份分離。
當(dāng)不同的揮發(fā)性有機(jī)物從色譜柱分離出來(lái)后通過(guò)氫氣/空氣火焰離子檢測(cè)器探測(cè)電導(dǎo)率的變化，從而確定不同組份的濃度，的吹掃和載氣系統(tǒng)可使儀器達(dá)到sub-ppb檢測(cè)限。
亮點(diǎn)：
在線連續(xù)質(zhì)量監(jiān)測(cè)全部自動(dòng)化系統(tǒng)
低濃度VOC監(jiān)測(cè)
獨(dú)立分開(kāi)測(cè)量有機(jī)物成份
Sub-ppb檢測(cè)限
集成計(jì)算機(jī)和控制軟件以及數(shù)據(jù)采集與處理功能
技術(shù)參數(shù)：
特性 | ||
工作原理: | 氣相色譜 | |
測(cè)量量程: | 0-200ppb | |
準(zhǔn)確度： | 2% | |
尺寸 (HxWxD)： | 160 cm x 60 cm x 80 cm | |
防護(hù)等級(jí)： | Nema 12 或IP54不銹鋼外殼 | |
工作溫度: | 10°C—35 °C | |
通訊: | RS-232, Ethernet, ODBC | |
電源: | 230 Vac, 50/60 Hz 900W | |
供氣要求: | CDA 5 l/min H2 130 sccm (可選H2發(fā)生器) | |
采樣通道: | 高達(dá)16 | |
分辨率： | 0.1ppb | |
測(cè)量組分： | 高達(dá)30, 客戶可定制 | |
可測(cè)組分 | ||
2-氨基乙醇 CH3NH2CH2OH | （t-乙酸丁脂）二羥基甲苯 H3CC6H3(t-C4H9)2OH | |
2-氨基丙醇 CH3NH2C2H4OH | 六甲基二硅胺烷 （CH3）3SiNHSi(CH3)3 | |
異丙醇 （CH3）2CHOH | 二乙氨基乙醇 (C2H5)2NC2H5OH | |
乙醇胺 H2NCH2CH2OH | 鄰苯二甲酸二辛酯 C6H4(C=OOC8H15)2 | |
環(huán)己胺 C6H11NH2 | 鄰苯二甲酸二乙酯 C6H4(C=OOC2H5)2 | |
環(huán)聚二甲基硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)n | 鄰苯二甲酸二丁酯 C6H4(C=OOC4H9)2 | |
對(duì)二氯苯 ClC6H4Cl | 三乙胺（C2H5）3N | |
鄰苯二甲酸二壬酯 C6H4(C=OOC9H19)2 | 鄰苯二甲酸二環(huán)己酯 C6H4(C=OOC6H11)2 | |
鄰苯二甲酸二癸酯 C6H4(C=OOC10H21)2 | 磷酸三乙酯 （C2H5O）3P=O | |
十甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)5 | 十二甲基環(huán)五硅氧烷 (-Si(CH3)2O-)6 | |
二甲苯 (CH3)2C6H4 | 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O | |
三甲基硅醇 C3H10OSi | 三甲酚磷酸酯 （CH3C6H4O）3P=O | |
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