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島津能量色散型微區(qū)X射線(xiàn)熒光光譜儀 μEDX系列

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詳細(xì)介紹

島津能量色散型微區(qū)X射線(xiàn)熒光光譜儀 μEDX系列



采用的Ｘ射線(xiàn)集束毛細(xì)管透鏡，X射線(xiàn)只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域，從而達(dá)到高靈敏度、高精度分析！

μEDX大幅度地提高了傳統(tǒng)的X射線(xiàn)熒光光譜儀無(wú)法完成的微小領(lǐng)域分析的靈敏度。配備新開(kāi)發(fā)的X射線(xiàn)集束毛細(xì)管透鏡，實(shí)現(xiàn)了zui小分析直徑達(dá)50μm的微區(qū)測(cè)定，適合半導(dǎo)體/電子部件/食品領(lǐng)域等高靈敏度、高分辨率分析。


  • 采用島津*的Ｘ射線(xiàn)聚光透鏡[集束毛細(xì)管透鏡]，X射線(xiàn)只照射樣品的50μmφ微小領(lǐng)域，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高精度分析。
  • 可以在大氣中進(jìn)行從輕元素到重元素(Na～U：μEDX-1300；Al～U：μEDX-1200/ 1400)的分析。
  • 配備雙CCD(高倍率,低倍率)攝像頭，可以在觀察樣品圖像的同時(shí)方便地決定分析位置，進(jìn)行分析。
  • 標(biāo)準(zhǔn)配備無(wú)標(biāo)樣定量FP法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜FP法以及可以測(cè)定聚合物薄膜的背景基本參數(shù)（BG-FP）法。
  • 作為微區(qū)Ｘ射線(xiàn)熒光光譜分析裝置，在世界上*配備了5種1次Ｘ射線(xiàn)濾光片自動(dòng)交換機(jī)構(gòu)，可消除來(lái)自Ｘ射線(xiàn)管的特征Ｘ射線(xiàn)，提高信噪比。
  • 配備多元素同時(shí)/自動(dòng)掃描成圖功能。采用高速掃描成圖，在短時(shí)間內(nèi)便可獲得圖像(μEDX-1200/1300)。追加透射觀察單元(選購(gòu))，也可進(jìn)行透射Ｘ射線(xiàn)的同時(shí)測(cè)定。
  • 配備電子冷卻式高計(jì)數(shù)率檢測(cè)器。無(wú)需液氮，可進(jìn)行高精度分析。
    (μEDX-1400)
  • 可輕松地進(jìn)行電子材料/部件的鍍層膜厚測(cè)定、異物檢測(cè)、失效解析及成圖分析。

                             
       


※如有外觀及規(guī)格的變動(dòng)，恕不另行通知。

島津能量色散型微區(qū)X射線(xiàn)熒光光譜儀 μEDX系列

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