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例如，臭氧催化劑應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)時(shí)，處理過(guò)程包含上述四個(gè)方面的作用。臭氧催化在這四個(gè)方面發(fā)揮作用的部分原因是由產(chǎn)生的羥基自由基引起的。組合過(guò)程，也就是高級(jí)氧化過(guò)程，代表了一種可選擇的催化產(chǎn)生羥基自由基的過(guò)程，可擴(kuò)大臭氧催化劑處理化合物的范圍。

在組合工藝中，常常有目的地在體系中引入第三相（固相或液相），從而促進(jìn)固體表面的吸附、液體的吸收、生物降解等過(guò)程，有時(shí)是污染的原因，使第三相進(jìn)入體系（土壤、切削油）。第三相對(duì)臭氧氧化過(guò)程會(huì)產(chǎn)生多種影響。很多難生物降解污染物的氧化產(chǎn)物是可生物降解的，因此可以將高級(jí)氧化過(guò)程與生物降解過(guò)程相結(jié)合?；瘜W(xué)氧化與生物降解過(guò)程相結(jié)合，能減少氧化劑用量，降低運(yùn)行成本。

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臭氧催化劑在組合工藝中的應(yīng)用

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