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東莞磊博機電設備有限公司


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所在地區(qū)：廣東東莞市

聯(lián)系人：韋先生 （銷售經(jīng)理）

技術文章

愛德華羅茨泵維修技術EH1200 EH2600 EH4200

閱讀：2584發(fā)布時間：2015-1-13

東莞龍德真空科技專業(yè)維修愛德華羅茨泵 EH2600愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH2600羅茨泵維修 EH1200愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH1200羅茨泵維修包  EH500愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH500羅茨泵維修及配件 EH250愛德華真空泵參數(shù) 愛德華EH250羅茨泵維修及愛德華真空泵油EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應用

  • 半導體制程
  • 真空蒸餾
  • 真空包裝
  • 鋼脫氣
  • 薄膜覆層
  • 真空冶金
  • 低密度風洞
  • 空間模擬
  • 真空浸漬
  • 油干燥和脫氣
  • 制藥冷凍干燥
  • CO2 激光

功能和優(yōu)勢
 

  • 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
  • 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
  • EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
    • 安靜的無振動運行。
    • 牢靠且防腐蝕。
    • *的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
  • 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
  • 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到zui低。
  • 軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
  • 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

技術數(shù)據(jù)

　型號EH250EH500EH1200EH2600EH4200
排量（工作容積）310 m3h-1 / 185 ft3min-1505 m3h-1 / 300 ft3min-11195 m3h-1 / 715 ft3min-12590 m3h-1 / 1525 ft3min-14140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速240 m3h-1 / 141 ft3min-1350 m3h-1 / 206 ft3min-1840 m3h-1 / 495 ft3min-11750 m3h-1 / 1031 ft3min-13100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差0-180 mbar/0-140 Torr0-110 mbar/0-83 Torr0-90 mbar/0-68 Torr0-80 mbar/0-60 Torr0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
出口連接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
轉(zhuǎn)速0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm
連續(xù)進氣口工作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、
E2M80、E2M175		GV250、GV400、
E2M175、E2M275		GV400、E2M275
電機功率




碳氫化合物2.2 kW / 3 hp2.2 kW/3 hp3 kW/4 hp11 kW/15 hp11 kW/15 hp
PFPE1.5 kW / 2 hp1.5 kW/2 hp3 kW/4 hp7.5 kW/10 hp11 kW/15 hp
ATEX2.2 kW2.2 kW3 kW11 kW11 kW
防爆3 hp3 hp4 hp15 hp15 hp
環(huán)境溫度范圍




工作5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F
存儲-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度90% RH90% RH90% RH90% RH90% RH
推薦用油Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20
油容量




齒輪箱

1.25 l/1.3 qt3.5 l/3.3 qt3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt6.5 l/7 qt6.5 l/7 qt
軸封儲油器0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt1.5 l/1.4 qt1.5 l/1.4 qt
重量61 kg/134 lb74 kg/163 lb74 kg/163 lb308 kg/679 lb



東莞龍德真空科技專業(yè)維修愛德華羅茨泵 EH2600愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH2600羅茨泵維修 EH1200愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH1200羅茨泵維修包  EH500愛德華羅茨泵參數(shù) 愛德華EH500羅茨泵維修及配件 EH250愛德華真空泵參數(shù) 愛德華EH250羅茨泵維修及愛德華真空泵油EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。
應用

  • 半導體制程
  • 真空蒸餾
  • 真空包裝
  • 鋼脫氣
  • 薄膜覆層
  • 真空冶金
  • 低密度風洞
  • 空間模擬
  • 真空浸漬
  • 油干燥和脫氣
  • 制藥冷凍干燥
  • CO2 激光

功能和優(yōu)勢

  • 適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的應用場合。
  • 它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。
  • EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機械裝置。這可提供：
    • 安靜的無振動運行。
    • 牢靠且防腐蝕。
    • *的軸封技術，處理艙中不會出現(xiàn)油污染
  • 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵制造。
  • 經(jīng)驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到zui低。
  • 軸封的設計經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要zui高標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。
  • 動態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運行噪音小，而這些特點正是*技術設備的制造商所需要的。

技術數(shù)據(jù)

　型號EH250EH500EH1200EH2600EH4200
排量（工作容積）310 m3h-1 / 185 ft3min-1505 m3h-1 / 300 ft3min-11195 m3h-1 / 715 ft3min-12590 m3h-1 / 1525 ft3min-14140 m3h-1 / 2440 ft3min-1
使用前級泵時的有效抽速240 m3h-1 / 141 ft3min-1350 m3h-1 / 206 ft3min-1840 m3h-1 / 495 ft3min-11750 m3h-1 / 1031 ft3min-13100 m3h-1 / 1825 ft3min-1
泵的壓力差0-180 mbar/0-140 Torr0-110 mbar/0-83 Torr0-90 mbar/0-68 Torr0-80 mbar/0-60 Torr0-60 mbar / 0-45 Torr
進氣口連接ISO63ISO100ISO160ISO160ISO250
出口連接ISO40ISO63ISO100ISO100ISO100
轉(zhuǎn)速0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm0-2900 rpm
連續(xù)進氣口工作壓力0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr0-1000 mbar/0-760 Torr
zui大出口壓力1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr1000 mbar/760 Torr
推薦的前級泵GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80GV80，E2M80GV160、GV250、
E2M80、E2M175		GV250、GV400、
E2M175、E2M275		GV400、E2M275
電機功率




碳氫化合物2.2 kW / 3 hp2.2 kW/3 hp3 kW/4 hp11 kW/15 hp11 kW/15 hp
PFPE1.5 kW / 2 hp1.5 kW/2 hp3 kW/4 hp7.5 kW/10 hp11 kW/15 hp
ATEX2.2 kW2.2 kW3 kW11 kW11 kW
防爆3 hp3 hp4 hp15 hp15 hp
環(huán)境溫度范圍




工作5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F5 至 40°C/40 至 104°F
存儲-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F-10 至 80°C/14 至 176°F
zui大工作濕度90% RH90% RH90% RH90% RH90% RH
推薦用油Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20Ultragrade 20
油容量




齒輪箱

1.25 l/1.3 qt3.5 l/3.3 qt3.5 l/3.3 qt
聯(lián)軸器蓋1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt1.5 l/1.6 qt6.5 l/7 qt6.5 l/7 qt
軸封儲油器0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt0.125 l/0.25 qt1.5 l/1.4 qt1.5 l/1.4 qt
重量61 kg/134 lb74 kg/163 lb74 kg/163 lb308 kg/679 lb




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