北京松信宏澤科技有限公司

：潘女士

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在線微量濕度異動變送器Pura Plus

產(chǎn)品簡介：
    新型的Pura Plus是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計的。Pura Plus是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點(diǎn)后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中Pura Plus能夠提供快速的響應(yīng)指示，在20 ppb濕氣級別下1 ppb的異動的響應(yīng)時間小于1 分鐘。

在線微量濕度異動變送器Pura Plus

產(chǎn)品特點(diǎn)：
• 對ppb級別濕度異動的快速響應(yīng)  
• 高靈敏度 ，實時監(jiān)測
• 多點(diǎn)測量安裝的全新概念
• 小巧經(jīng)濟(jì)
• 信號燈式的狀態(tài)指示
• 警告和報警點(diǎn)設(shè)置可編程
• Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容
• 遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件
• (UHP) 超純氣體的管線檢測

技術(shù)參數(shù)：
響應(yīng)速度 ：<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應(yīng)時間
濕度量程 ：1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍 ：0 to 10 bar
耐壓等級 ：300 bar
泄漏測試 ：0-9 mbar l/s
工作流量范圍：1 ~ 10 l/min
工作溫度 ：5 ~ 40°C
存儲溫度 ：30 ~ 70°C
電    源 ：20 ~ 28 V DC
功    耗 ：5 W zui大
外部保險絲等級：500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出 ：Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出：2 路
zui大電壓 ：40 V DC
zui大電流 ：100 mA
外殼材質(zhì) ：不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu) ：氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積 ：4.4cm³
重    量 ：450g
氣路接口 ：1/4" m VCR
電氣接口 ：9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性 ：EN50081-2 和 EN50082-2

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