電容式流量計(jì)傳感器足以各種類型電棄器作為傳感器元件．將被耐物理量的變化轉(zhuǎn)換為自身電粹量的變化，再經(jīng)后續(xù)電路轉(zhuǎn)化為電壓、電流、頻率等。l|述電參數(shù)的數(shù)值應(yīng)能間接準(zhǔn)確地描適傲測(cè)物理毋的變化趨勢(shì)。
電容式流量計(jì)和電阻傳感器、電容式流量計(jì)以及熱電偶傳感器同樣是工業(yè)測(cè)毋領(lǐng)域常見(jiàn)的并B成熟的傳感器之一。占具有“F特點(diǎn)：
（”具有較大的相對(duì)變化量。用電罔i式傳感器測(cè)量時(shí)，其電阻相對(duì)變化量?jī)x為l％．若用品質(zhì)因數(shù)較低的后續(xù)電路放大、轉(zhuǎn)化時(shí)，苴轉(zhuǎn)換后的電參量準(zhǔn)確度和一致性較難獲得。而電櫛的相對(duì)變換量可達(dá)l00％，這將使后續(xù)處理電路減少一些不必要的非線性放大環(huán)節(jié)，使信嚀離散程度和畸變點(diǎn)降到zui低。
（2）工作適應(yīng)性較強(qiáng)。電容式傳感器-般可在高溫、低溫和有多種強(qiáng)輻射世[業(yè)干擾的環(huán)境下工作，其根本原因在于這種傳感器通常不必要采用有機(jī)材料或磁性材料。
（3）溫度效應(yīng)小。電容式流量計(jì)傳感器所需的激勵(lì)強(qiáng)度較小，當(dāng)傳感器采用真空或其他氣體作為絕緣介質(zhì)時(shí)，介質(zhì)損失相當(dāng)小，可忽略小計(jì)，兇此自身發(fā)熱所造成的影響可不考慮。
（4）動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度快。田為可訶式電容傳感器其動(dòng)片的諧振頻率較高．可用于物理參基的動(dòng)態(tài)測(cè)量。當(dāng)被測(cè)物理量突然躍變時(shí)，其激勵(lì)響應(yīng)速度可達(dá)。。級(jí)。 從圖l9—2可以看出，若動(dòng)樁板受被測(cè)物體作用而上下移動(dòng)時(shí)，極距d的量值將發(fā)生變化，從而引起電容埴C的變化。從圖巾還可看出．同樣的位移Ad所引起的電容變化量Ac不同。原始極距輕小時(shí)，Ac較大；原始極距較大時(shí)，Ac較小。換句話說(shuō)，初始極距?。疁y(cè)量是敏度高．反之則低。因此得出一個(gè)結(jié)論．C—d關(guān)系為非線性。
為丁減少非線性對(duì)靈敏度的影響．變距式傳感器常般成差動(dòng)形式。見(jiàn)圈19—3所示。
當(dāng)動(dòng)極板向上移動(dòng)缸時(shí)，電容C．的極距變?yōu)閐 L一缸；電容cz的飯距變?yōu)閐z十缸。刪電容成差動(dòng)變化．經(jīng)后續(xù)處理電焙轉(zhuǎn)化，其是明&提高近噸．線性也得到改善。
2變面積式傳惠囂C=df（a1
變面積武傳感器通常有三種結(jié)構(gòu)形式，見(jiàn)圖19—4所示。
田19—4（a）所示為平板型直線位移式電容傳感器。其中，定極板保持不動(dòng)；動(dòng)扳板可在維持極距不變的情況下左右移動(dòng)，相對(duì)覆盞面粵l也隨穆動(dòng)而變化。
圖I9—4（b）所示為圓筒型直線位移式電容傳感器。其中，外圓筒保持不動(dòng)，為防止外界電壢干擾，正常工作時(shí)需做接地處理；內(nèi)圓筒在導(dǎo)軌的約束下上下往復(fù)移動(dòng)，其目的是保持硎筒內(nèi)外圓的間隙不變。
圖19—4（c）所示為半圓型角位移式電容傳感囂。被測(cè)物體可作用在兩半圓楹扳的任馥一片上，井轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)相對(duì)偏移角8。
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