應(yīng)用領(lǐng)域:適用于高精密光學(xué)零件的自由曲面的測量。
性能特點(diǎn):
1. 可以提供球面元件、非球面元件、衍射元件及自由曲面等面的三維光柵 及徑向分析;
2. 可以測量環(huán)面、雙錐面、合成非球面、橢球面、NURBS樣條曲面、非球面柱面 、點(diǎn)云以及Zernike定義的曲面等;
3. 測針測量范圍可達(dá)到28mm,分辨率可達(dá)0.8nm,測量角度到達(dá)50°,面型誤差小于150nm。
應(yīng)用領(lǐng)域:適用于高精密光學(xué)零件的自由曲面的測量。
性能特點(diǎn):
1. 可以提供球面元件、非球面元件、衍射元件及自由曲面等面的三維光柵 及徑向分析;
2. 可以測量環(huán)面、雙錐面、合成非球面、橢球面、NURBS樣條曲面、非球面柱面 、點(diǎn)云以及Zernike定義的曲面等;
3. 測針測量范圍可達(dá)到28mm,分辨率可達(dá)0.8nm,測量角度到達(dá)50°,面型誤差小于150nm。
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