- 用途
- 技術參數(shù)
1、雙端口檢測；
2、大口徑元件面形檢測；
3、測量光學元件的材料均勻性；
4、平行平板元件多表面測試；
5、元件面形分析，光學數(shù)據(jù)處理。
序號 | 指標名稱 | 指標參數(shù) |
1 | 測試結構 | 臥式雙端口； |
2 | 測試口徑 | 大端口：有效口徑≥φ450mm； 小端口：有效口徑≥φ100mm； |
3 | 相移方式 | QPS波長調(diào)諧相移或機械相移解相； |
4 | 測試光源 | 波長調(diào)諧相干光源，λ=632.8nm，相干長度≥100m； 可選氦氖相干光源，λ=632.8nm（用于機械相移） |
5 | CCD指標 | 可選分辨率≥1.2K×1.2K，或分辨率≥2.3K×2.3K， 或分辨率≥3.4K×3.4K； |
6 | φ800mm標準楔形鏡（TF鏡） | 標準面面形：PVr優(yōu)于λ/20，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口熔石英材料； |
7 | φ800mm標準反射鏡（RF鏡） | 標準反射面面形：PVr優(yōu)于λ/20，中頻誤差PSD1小于0.9nm，進口微晶材料； |
8 | 系統(tǒng)傳遞函數(shù) | ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ450mm大端口系統(tǒng)）； |
9 | 系統(tǒng)精度 | 系統(tǒng)精度：系統(tǒng)空腔精度PVr優(yōu)于λ/15，中頻誤差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口徑內(nèi)）； |
10 | 系統(tǒng)重復性精度 | 系統(tǒng)重復性精度：系統(tǒng)RMS重復性優(yōu)于λ/2000（2σ）； |
11 | 調(diào)焦范圍 | 調(diào)焦范圍：光瞳調(diào)焦范圍≥±2m； |
12 | ZOOM變焦 | 1-6X光學變焦（1.2K） 或1X光學變焦，50X數(shù)字變焦(2.3K/3.4K)； |
13 | 測試對準方式與角度 | 測試對準方式與角度：快對準與精密對準方式，對準角度≥±15°/±3°； |
14 | 波長調(diào)諧相移分析軟件 | 輸出峰谷值（PV）、標準偏差（RMS）、等高圖、X-Y剖面圖、三維立體圖、干涉條紋圖、MTF(光學傳遞函數(shù))、PSF(點擴散函數(shù))，澤爾尼科多項式分析、賽德爾相差分析等； 分析軟件可進行矩形、橢圓、正方形、圓、多邊形等數(shù)據(jù)分析功能； 平行平板類元件測試功能（樣品無需特殊處理），一次干涉條紋數(shù)據(jù)采集可同時得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光學厚度變化； 具有材料均勻性測試分析功能； |
15 | 標準反射鏡支撐調(diào)節(jié) | 二維手動與電控角度調(diào)節(jié)，整體結構氣浮大范圍移動； |
16 | 測試工裝 | 兩維角度調(diào)節(jié)，一維平移調(diào)節(jié)，大范圍氣浮調(diào)節(jié)； |
17 | 氣浮隔振平臺 | 隔振平臺，尺寸≤3800mm×1500mm |
