產(chǎn)品簡(jiǎn)介： GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng)， 主要由射頻發(fā) 生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒(méi)有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料（如單晶 片、光學(xué)元件、塑料等） 表面雜質(zhì)， 且清理速度迅速。本機(jī)是為獲得高質(zhì)量的外延薄膜或光學(xué)涂層進(jìn)行預(yù) 先表面處理的合適的工具選擇。 GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀具有一個(gè)樣品臺(tái)， 將樣品固定在樣品 臺(tái)上后可進(jìn)行 X、Y、Z 三個(gè)方向上一定范圍內(nèi)的連續(xù)移動(dòng)清洗，且清洗過(guò)程中離子束不會(huì)發(fā)生抖動(dòng)，清理 后的樣品表面質(zhì)量均勻。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀 |
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-PJF-A |
主要特點(diǎn) | 1、高速清理物件表面，操作簡(jiǎn)單、安 全。 2、無(wú)需真空和腔室環(huán)境。 3、小巧實(shí)用、成本低。 4、重量輕、結(jié)構(gòu)緊湊。 |
5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。 | |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源： 110/220V 50Hz/60Hz <1000W 2、輸出頻率： 20KHz-23KHz 3、離子束頭： 圓頭 10mm-12mm ，矩形頭 15mm-18mm 4、輸入氣壓： 0.275MPa（min） |
5、工作氣氛：空氣、氮?dú)?、氬氣、混合氣體，但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力： 0.048MPa-0.068MPa 7、工作環(huán)境：溫度<42℃，濕度≤40%RH 8、工作臺(tái)：自動(dòng)控制三維工作臺(tái)， X 、Y 軸電動(dòng)調(diào)節(jié)， Z 軸手動(dòng)調(diào)節(jié) 9、真空吸盤： ?100mm 10 、X 軸行程： 200mm 11 、Y 軸行程： 100mm | |
12 、Z 軸行程： 50mm | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸： 600mm×600mm×1250mm；重量： 55kg |
