GIST超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計,過濾精度可達3nm,設備結(jié)構(gòu)緊湊,強度高,與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性,特別適用于用于惰性氣體和反應性氣體的過濾。
產(chǎn)品特色
• 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
• 高通量低壓損
• 優(yōu)異的化學相容性
• 耐高溫、高壓
• 100%完整性測試
• 100%氦氣泄漏測試
• 潔凈室制造和包裝
GIST超純氣體過濾器專為電子級氣體超純凈化開發(fā)設計,過濾精度可達3nm,設備結(jié)構(gòu)緊湊,強度高,與所有類別的半導體工藝氣體具有良好的兼容性,特別適用于用于惰性氣體和反應性氣體的過濾。
產(chǎn)品特色
• 316L 不銹鋼電子級拋光外殼
• 高通量低壓損
• 優(yōu)異的化學相容性
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