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日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監(jiān)控橢偏儀

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公司名稱上海亨東儀器有限公司
品牌
型號(hào)
所在地上海市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/2/18 14:51:15
訪問(wèn)次數(shù)307

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海亨東儀器有限公司是一家專注于儀器儀表、環(huán)保設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、電氣設(shè)備、五金工具、機(jī)械設(shè)備及配件、化工原料的開發(fā)，代理，銷售和服務(wù)工作。供應(yīng)HACH哈希COD試劑,WTWBOD測(cè)定儀,哈納HANNA離子劑,Lovibond BOD測(cè)定儀,Lovibond色度儀等產(chǎn)品。公司擁有強(qiáng)大的專業(yè)技術(shù)服務(wù)支持隊(duì)伍，的銷售工程師，完善的售后服務(wù)體系，讓服務(wù)更專業(yè)、更經(jīng)濟(jì)！上海亨東儀器有限公司在儀器領(lǐng)域擁有多年的研發(fā)和市場(chǎng)推廣經(jīng)驗(yàn)，并與一些院校和科研單位有著長(zhǎng)期良好的合作關(guān)系.上海亨東儀器有限公司主要提供如下產(chǎn)品:水質(zhì)分析儀品牌及檢測(cè)項(xiàng)目美國(guó)哈希HACH，德國(guó)WTW，意大利HANNA，德國(guó)LOVIBOND、德國(guó)賽多利斯、瑞士梅特勒。 PH計(jì)/酸度計(jì)、電導(dǎo)率測(cè)定儀、溶解氧測(cè)定儀、水質(zhì)離子測(cè)定儀、濁度測(cè)定儀、水質(zhì)硬度計(jì)、化學(xué)需氧量COD/生化需氧量BOD快速測(cè)定儀、余氯總氯比色儀、總氮總磷分析儀、非分散紅外測(cè)油儀/油分儀、農(nóng)藥殘毒速測(cè)儀、土壤養(yǎng)分速測(cè)儀、紫外可見分光光度計(jì)、水質(zhì)采樣器、負(fù)離子濃度測(cè)試儀、電子天平等。水質(zhì)分析儀品牌及檢測(cè)項(xiàng)目嘉興紅聲，杭州愛華，嘉興恒升,美國(guó)NK等。噪聲、振動(dòng)、氣象、風(fēng)速、電磁輻射及放射性監(jiān)測(cè)分析；電子安規(guī)測(cè)試；工業(yè)生產(chǎn)檢測(cè)；以及工業(yè)衛(wèi)生和食品安全等各種用途的儀器儀表等。檢測(cè)設(shè)備、電氣設(shè)備品牌及檢測(cè)項(xiàng)目日本日置、美國(guó)luyor、中國(guó)臺(tái)灣固緯、德圖TESTO、日本圖技GRAPHTEC紅外測(cè)溫儀、涂層測(cè)厚儀、測(cè)振儀、轉(zhuǎn)速表、測(cè)溫儀、激光測(cè)距儀、測(cè)力計(jì)、兆歐表、萬(wàn)用表、鉗形表、示波器、數(shù)字示波器、信號(hào)源、電源、頻譜分析儀、功率分析儀、等測(cè)試儀器.

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。

日本HORIBA UVISEL Plus In-Situ 在線監(jiān)控橢偏儀產(chǎn)品信息

高速、準(zhǔn)確
完整集成了實(shí)時(shí)測(cè)量、建模和報(bào)告軟件包
便于在線和離線間切換

可獲得的信息

薄膜厚度
光學(xué)常數(shù)（n,k）
材料組成

UVISEL Plus在線監(jiān)控橢偏儀可以很容易的安裝在各類反應(yīng)腔（PECVD、MOCVD、磁控濺射、蒸鍍、ALD和MBE），實(shí)時(shí)監(jiān)控薄膜沉積或刻蝕過(guò)程。

UVISEL Plus在線橢偏儀結(jié)合了速度快、靈敏度高、動(dòng)態(tài)范圍寬和準(zhǔn)確等優(yōu)點(diǎn)，使其能夠在原子層水平監(jiān)控沉積/刻蝕，即使過(guò)程速度比較快也可實(shí)現(xiàn)。

采用新型適配器組件可以實(shí)現(xiàn)臺(tái)式設(shè)備和在線系統(tǒng)的切換。

UVISEL Plus在線橢偏儀使用DeltaPsi2軟件驅(qū)動(dòng)，該軟件適用于HORIBA所有橢偏儀。DeltaPsi2具有眾多的建模和擬合處理功能，操作界面簡(jiǎn)單，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。的通訊協(xié)議，TCP/IP和RS232已被設(shè)計(jì)用于生產(chǎn)環(huán)境和OEM。

光譜范圍：190-885 nm，可擴(kuò)展至 190-2100 nm
光源：75W氙燈或150W氙燈
探測(cè)系統(tǒng)：?jiǎn)吸c(diǎn)或?qū)崟r(shí)光譜采集使用高靈敏度，寬動(dòng)態(tài)范圍的PMT探測(cè)器和掃描單色儀，原位監(jiān)控薄膜沉積/蝕刻
光斑尺寸@300：50μm , 100μm & 1mm
機(jī)械適配器：CF35或KF40法蘭