一、簡介
珀金埃爾默公司是ICP-MS技術(shù)的，也是ICP-MS技術(shù)革新的。1983年珀金埃爾默公司研制開發(fā)出世界上用于商業(yè)的ELAN® 250型ICP-MS。
NexION 5000是業(yè)界多重四極桿ICP-MS，由四組四極桿組成。其創(chuàng)新設(shè)計達到和超過如半導(dǎo)體、生物監(jiān)測和其他應(yīng)用領(lǐng)域的痕量和超痕量元素檢測要求。NexION 5000性能超越了傳統(tǒng)的三重四極桿技術(shù)，提供低的背景等效濃度（在高溫?zé)岬入x子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測限，確保了結(jié)果的精度和可重現(xiàn)性。NexION 5000 ICP-MS具有：
的干擾消除能力
出色的背景等效濃度(BECs)
的基體耐受性
符合SEMI S2/S8法規(guī)和安規(guī)要求
二、技術(shù)特點
l 四組四極桿：
組
四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（Q0，Quadrupole Ion Deflector）是一個基于離子能量的靜電質(zhì)量分析器，對離子進行動態(tài)聚焦和質(zhì)量篩選，同時把離子偏轉(zhuǎn)90度以實現(xiàn)與中性成分和光子分離，導(dǎo)入下一級四極桿
第二組
為個四極桿質(zhì)量分析器（Q1，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至四極桿通用池。它包含長預(yù)四極桿，可獲得更好的高能離子聚焦，從而具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率 < 0.3 amu
第三組
為四極桿通用池（Q2，Universal Cell Technology），是市場上由四極桿構(gòu)成的池技術(shù)，具有動態(tài)帶寬質(zhì)量調(diào)諧能力（從而可以對反應(yīng)進行有效的控制），標配軸向場技術(shù)（從而可以使用任何所需的氣體），既可以作為離子聚焦加速的離子通道，又可以作為特定離子的質(zhì)量選擇器，抑制池內(nèi)副反應(yīng)的產(chǎn)生，確保所需反應(yīng)的，從而消除干擾。
第四組
為第二個四極桿質(zhì)量分析器（Q3，Transmission Analyzer Quadrupole），用作質(zhì)量分析器或?qū)㈦x子引導(dǎo)至檢測器。具有單位質(zhì)量或更好的質(zhì)量分辨，分辨率 < 0.3 amu
電子稀釋技術(shù)（EDR）擴展動態(tài)線性范圍至1012，允許在一次運行中，同時分析高低濃度元素，減少重復(fù)運行
l 低維護實現(xiàn)長時間運行：
第二代帶OmniRig™的三錐接口（TCI）技術(shù)與四極桿離子偏轉(zhuǎn)器（QID）相結(jié)合，從而實現(xiàn)錐后無需維護，保證儀器長時間運行和出色的穩(wěn)定性
34 MHz自激式RF發(fā)生器提供免故障的客戶體驗——的LumiCoil™ RF工作線圈產(chǎn)生等離子體，它只需空氣冷卻（無需水冷或氣冷），從而無需維護且無需更換
l 通過外部狀態(tài)指示燈，可輕易得知分析狀態(tài)，提高了效率
l Syngistix™軟件（v. 3.0或更高版本）將多重四極桿的性能與充滿現(xiàn)代感的用戶界面整合，實現(xiàn)用戶友好的工作流程操作
l 可升級SEMI S2/S8認證（應(yīng)急按鈕），從而符合半導(dǎo)體超凈間設(shè)施集成要求
三、應(yīng)用
適用于環(huán)境、地質(zhì)、化學(xué)、食品、藥品、光刻膠、材料等，金屬元素、有機各類形態(tài)的分析，低的背景等效濃度（在高溫?zé)岬入x子字體中，BECs<1 ppt）和出色的檢測極限。
