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WGL光電輪廓儀的產(chǎn)品介紹儀器由倒置式改為正置式,更符合人們的操作習(xí)慣;應(yīng)用CMOS代替CCD,省去圖象卡并提高了質(zhì)量;用低壓電源代替高壓電源,節(jié)省了儀器成本;用國(guó)產(chǎn)的代替德國(guó)進(jìn)口壓電陶瓷,解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題;增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序,同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能;
WGL光電輪廓儀的參數(shù)表面微觀不平深度測(cè)量范圍:130?1nm 測(cè)量的重復(fù)性:sRa≤0.5nm 測(cè)量精度:8nm 物鏡倍率:40X 數(shù)值孔徑:0.65 儀器視場(chǎng) 目視:f0.25mm 攝象:0.13X0.13mm儀器放大倍數(shù) 目視:500X 攝象(計(jì)算機(jī)屏幕觀察):2500X 接收器測(cè)量列陣:1000X1000 象素尺寸:5.2X5.2?m
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