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廣電計量檢測集團股份有限公司

ICP-RIE 等離子體刻蝕機

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱重慶眺望科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/26 9:52:04
  • 訪問次數(shù)735
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眺望科技專注光電科技、半導體以及新能源行業(yè)。眺望科技自2005年成立以來, - -直致力于為客戶提供高品質(zhì)產(chǎn)品與服務。目前,眺望科技與多個國際品牌-直保持著長期合作關系,主要包括美國AJA磁控濺射、離子刻蝕、電子束蒸發(fā)等PVD設備,美國AYMONT碳化硅等寬禁帶半導體材料生長工藝及設備,美國Digital Matrix*電鍍設備,德國SENTECH等離子體工藝設備等,美國Film Sense多波長橢偏儀,德國ATL激光器以及徠卡LEICA光學顯微鏡等產(chǎn)品。行業(yè)應用覆蓋半導體、真空鍍膜、光電科技以及材料分析等領域,服務范圍。眺望科技作為國際品牌代理商,依托良好的產(chǎn)品平臺和專業(yè)務實的服務團隊,目前在國內(nèi)北京、上海、 成都、重慶等城市分別設立辦事處,與國內(nèi)科研院和企事業(yè)單位也建立了良好的合作關系。我們期待能為您提供更多更專業(yè)的行業(yè)解決方案。
ICP-RIESI500納米結構低損傷刻蝕由于等離子的能量分布低,從而能實現(xiàn)低損傷刻蝕和納米結構刻蝕
ICP-RIE 等離子體刻蝕機 產(chǎn)品信息

ICP-RIE SI 500

 

納米結構低損傷刻蝕 

由于等離子的能量分布低,從而能實現(xiàn)低損傷刻蝕和納米結構刻蝕。 

簡單高速率刻蝕 

MEMS制造工藝中,Si材料光滑側壁的高速高選擇比刻蝕,可以很容易的通過室溫或低溫工藝實現(xiàn)。 

內(nèi)置ICP等離子源 

平板三螺旋天線(PTSA)等離子源是SENTECH的等離子工藝系統(tǒng)。PTSA能產(chǎn)生高密度低能量分布的等離子體。

在多種材料刻蝕工藝中都能實現(xiàn)高效率耦合及穩(wěn)定起輝 。

動態(tài)溫控 

襯底溫度設定和工藝過程中的穩(wěn)定性是影響刻蝕工藝質(zhì)量的重要因素。ICP襯底電極結合背面氦氣冷卻和溫度傳感器進行動態(tài)溫控,工藝溫度范圍為-150 °C 至 +400 °C。 

 

SENTECH面向高靈活性和高產(chǎn)能的刻蝕和沉積系統(tǒng)提供各種級別的自動化裝置,從預真空系統(tǒng)到6端口的多工藝腔室裝置。SI500可以作為多腔室工藝模塊。

 


 

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SI 500 

ICP等離子刻蝕機

真空樣品室/load-lock

裝載200mm晶圓

樣品溫度 -20 °C ~ 300 °C 

 

 

 

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SI 500C 

低溫ICP等離子刻蝕機

配置傳送腔和真空樣品室

樣品溫度 -150 °C ~ 400 °C 

 

 

 

 

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SI 500-RIE 

RIE等離子刻蝕機

智能氦氣背部冷卻刻蝕

電容耦合等離子源

可升級到ICP等離子源PTSA200

 

 

 

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SI 500-300 

ICP等離子刻蝕機

真空樣品室/load-lock

裝載300mm晶圓

 

 

 

 

 

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