美國ALICAT MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器參數(shù):

0 – 0.5 sccm 滿量程到 0 – 3000 slpm 滿量程

艾里卡特®MCS & MCRS 系列專用于某些腐蝕性氣體

產(chǎn)品性能: MCS & MCRS 系列質(zhì)量流量控制器

精度(調(diào)零后標準條件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S)

高精度選配(調(diào)零后標準條件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S)

高精度(選配)僅適用于量程為: 5SCCM ~ 500SLPM 的設(shè)備

重復(fù)性: ±0.2% F.S

零點漂移&滿量程漂移: 0.02% F.S / oC / Atm

工作范圍 / 量程可調(diào)比: 1% ～ 100 F.S / 100:1

很大可控流量: 102.4% F.S

典型響應(yīng)時間: 100 毫秒(可調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間: < 1 秒

運行工況: MCS & MCRS 系列質(zhì)量流量控制器

標準工況: (STP) 25oC & 14.696 psia、20oC & 14.696 psia、0oC & 14.696 psia (三種工況供切換)

工作溫度: ?10 ~ +50 oC

工作濕度范圍 (非冷凝): 0 ~ 100

內(nèi)部很大工作壓力(靜壓): 145 psig

很限壓力: 175 psig

對安裝方式/方向的要求: MCS: 無 MCRS: 閥門須垂直安裝

閥門狀態(tài): 閥門常閉

防護等級： IP40

材質(zhì) ：標準采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根據(jù)特殊氣體選用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene；