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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱孚光精儀公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)FPFRE-MDPM
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/1/22 8:25:56
  • 訪問(wèn)次數(shù)380
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孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區(qū)和德國(guó)進(jìn)口光學(xué)材料和儀器的進(jìn)口服務(wù)。公司創(chuàng)始股東們足跡遍布捷克,愛(ài)沙尼亞,羅馬尼亞,白俄羅斯,立陶宛,法國(guó),英國(guó),意大利,奧地利,丹麥,比利時(shí),以及德國(guó) 漢堡,法蘭克福,柏林,慕尼黑,紐倫堡,德累斯頓等科技強(qiáng)國(guó)和強(qiáng)市,對(duì)整個(gè)歐洲特別是東歐和德國(guó)的技術(shù)產(chǎn)品和精密儀器的質(zhì)量有可靠的把握。長(zhǎng)期以來(lái),德國(guó)在科學(xué)研究、技術(shù)創(chuàng)新和儀器研發(fā)領(lǐng)域具有的優(yōu)勢(shì)。德國(guó)的科學(xué)儀器以技術(shù)*,質(zhì)量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國(guó)和東歐國(guó)家可靠的供應(yīng)商,為用戶提供了道質(zhì)量保障。公司派送員工前往原廠進(jìn)行技術(shù)培訓(xùn),從而具備為遠(yuǎn)東地區(qū)用戶提供快速高效的技術(shù)服務(wù)能力,這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽(yù)。因此,孚光精儀的事業(yè)在服務(wù)客戶的同時(shí)獲得超常發(fā)展,快速成長(zhǎng)為*儀器的規(guī)模型供應(yīng)商和技術(shù)服務(wù)商。目前,孚光精儀已經(jīng)把產(chǎn)品原產(chǎn)地?cái)U(kuò)展到整個(gè)歐洲和美國(guó),形成了以歐洲和美國(guó)為供貨來(lái)源地的良好局面。
單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀是專用為晶圓品質(zhì)檢驗(yàn),測(cè)量少子壽命,測(cè)量光電導(dǎo)率和電阻率等研發(fā)的晶圓壽命測(cè)試儀器
單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀 產(chǎn)品信息

單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀是專用為晶圓品質(zhì)檢驗(yàn),測(cè)量少子壽命,測(cè)量光電導(dǎo)率和電阻率等研發(fā)的晶圓壽命測(cè)試儀器。
單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀MDPmap自動(dòng)識(shí)別樣品,參數(shù)設(shè)置可以使該儀器適應(yīng)各種樣品,包括從生長(zhǎng)的晶圓到高達(dá)95%的金屬化晶圓之間不同制備階段的各種外延片和晶圓片。
單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀具有高度的靈活性,它允許集成多達(dá)4臺(tái)激光器,用于從超低注入到高注入的與注入水平相關(guān)的壽命測(cè)量,或者通過(guò)使用不同的激光波長(zhǎng)提取深度信息。

單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀
靈敏度:對(duì)外延工藝監(jiān)控和不可見(jiàn)缺陷檢測(cè),具有可視化測(cè)試的分辨率
測(cè)量速度:6英寸硅晶圓片,1mm分辨率 ,小于5分鐘
壽命測(cè)試范圍: 20納秒到幾十毫秒
沾污檢測(cè):源自坩堝和生長(zhǎng)設(shè)備的金屬(Fe)污染
測(cè)量能力:從初始切割的晶圓片到所有工藝加工的樣品
靈活性:允許外部激光通過(guò)觸發(fā)器,與探測(cè)模塊耦合
可靠性: 模塊化和緊湊臺(tái)式儀器,更高可靠性,正常運(yùn)行時(shí)間> 99%
重現(xiàn)性: > 99.5%
電阻率:無(wú)需時(shí)常校準(zhǔn)的電阻率面掃描

單晶多晶硅片壽命測(cè)試儀規(guī)格參數(shù)

樣品尺寸

5~300mm(300mm為標(biāo)配,可根據(jù)需求提升至450mm)

壽命范圍

20ns到幾毫秒

電阻率

0.2 - 10^3 Ohm cm P/N

材質(zhì)

硅晶圓,外延層,部分或加工晶圓,化合物半導(dǎo)體等

測(cè)量屬性

少數(shù)載流子壽命,光電導(dǎo)性, μ-PCD/MDP (QSS)

激勵(lì)源

可選四種不同波長(zhǎng)(355nm—1480nm),默認(rèn)980nm

大小

680 x 380 x 450 mm, 重量: 65 kg

電源要求

100-250V,50/60 Hz, 5A

15168338725
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