簡述：
在21世紀的納米技術 (如代表信息相關技術的*半導體，聲明科學相關技術，如基因治療，原子或分子處理，如MEMS和新材料生成等工程技術)，振動，噪音，電磁場，熱量，濕度，干擾等等將是測量環(huán)境的制約因素。在納米技術中，為取得可靠的結果，難以使用氣浮臺隔振的低頻范圍，需要主動隔振。
桌面式主動防振臺-Herz TS Series*主動隔振系統(tǒng)將作為21世紀納米技術的隔振技術基礎，將有助于促進當前技術和測量，創(chuàng)新和發(fā)展未知技術。TS 系列在0.7 Hz -100 Hz 寬范圍內可在所有六個自由度上提供出色的主動隔振性能。
工作原理：
桌面式主動隔振光學平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series采用*的隔振技術，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動隔振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機械共振。
產品特征：
- 三個維度六個自由度主動隔振 0.7 Hz -1000 Hz
- 高度調節(jié)將在負載儀器時自動啟用
- 即使負載偏離中心，自動調平功能將保持水平，可在負載高重心儀器時提供穩(wěn)定性。
- 只需按壓前面的按鍵即可鎖定和解鎖系統(tǒng)。鎖定系統(tǒng)可防止搬運或運輸過程中發(fā)生損壞。
- 顯示屏顯示 X, Y 和 Z 方向上的實際振動水平。
- 通過使用遙控盒，也可從外部啟動或關閉主動隔振。
注：TS 系列也可用作振動器?？蛇x配外部激勵器盒，但需市售功能發(fā)生器和BNC 電纜。
搭載設備：
- 掃描電子顯微鏡，如AFM
- 三維表面輪廓儀
- 激光顯微鏡
- 激光干涉儀
- 液體表面張力測量系統(tǒng)
- 顯微硬度測量儀器
- 醫(yī)療檢查設備等
性能對比（TS-150/LP）：
– 振動加速度對比
右側數(shù)據顯示TS-150/LP的隔振性能，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
藍線: 地面振動加速度
紅線: TS-150/LP表面安裝板加速度
– 振動傳遞率
右側數(shù)據顯示地面到TS-150/LP表面安裝板的振動傳遞率，水平(X, Y) 和垂直(Z)。
垂直軸: 傳遞率，單位：dB
(20 dB = x 10、0 dB = x 1、-20 dB = x 0.1、 -40 dB = x 0.01、-60 dB = x 0.001)
該數(shù)據表明主動隔振系統(tǒng)在1 Hz -100 Hz 低頻范圍內具有優(yōu)異的隔振性能。
桌面式主動隔振光學平臺-桌面式主動防振臺-Herz TS Series技術參數(shù)：
結合隔音箱，創(chuàng)造測量環(huán)境：
對于原子或分子研究，如掃描電子顯微鏡， TS系列主動隔振系統(tǒng)至關重要。此外，不僅要考慮振動，還應考慮聲學抑制。我們所生產的AEk 隔音箱適用于超高分辨率應用，如SPM。將 AEk和TS系列整合可提供的測量環(huán)境。
搭配 AEK-2002 隔音箱：AEK系統(tǒng)采用多層可變密度隔聲材料層，可有效隔離寬頻帶噪聲。
TS 應用示例：
