光氧凈化設備依靠高強紫外線，其中154nm-185nm波長在系列光譜中使占比例高達14%，紫外線劑量大于65mw/cm2，光子能量大于1000kJ/mol，是當前工業(yè)UV/O3紫外燈中劑量和能量 大的紫外線，氧化鍵能小于380kJ/mol的污染物，無極燈紫外線光解氧氣產生臭氧，臭氧濃度15g-75g/h，臭氧能氧化金屬性較強的污染物，臭氧量可根據(jù)污染物的濃度以及后續(xù)反應時間設定。
廢氣的光解催化氧化機理包括兩個過程：一是在產生 離子群體的過程中， 數(shù)量的氣體分子受 作用，本身分解成單質或轉化為物質。二是含有大量 粒子和高活性的自由基的離子群體，與大分子氣體(如苯、甲苯等)作用，打開了其分子內部的化學鍵，轉化為的小分子物質。態(tài)的氧離子具有的氧化性，它能的氧化分解不受負離子作用控制的物。和廢氣反應后多余的氧離子(正)，能與氧離子(負)很快結合成中性氧，因而不會 多地對設備及環(huán)境造成不利影響。
光氧凈化技術性能
低溫反應：
光催化氧化可在常溫下將空氣、水和土壤中污染物 氧化成 的物質。而傳統(tǒng)的高溫焚燒技術則需要在 的溫度下才可將污染物摧毀，即使用常規(guī)的催化氧化方法亦需要幾的高溫。
凈化 ：
它直接將空氣中的污染物， 氧化成 的物質，不留任何二次污染，目前廣泛采用的活性炭吸附法不分解污染物，只是將污染源轉移。
綠色能源：
光催化可利用太陽光作為能源來活化光催化劑，驅動氧化—還原反應，而且光催化劑在反應過程中并不消耗。從能源角度而言，這一特征使光催化技術 具魅力。
氧化性強：
大量研究表明，半導體光催化具有氧化性強的特點，對臭氧難以氧化的某些物如、四氯化炭、六氯苯、都能地加以分解，所以對難以降解的物具有特別意義，光催化的氧化劑是羥基自由基(HO)，HO的氧化性高于常見的臭氧、雙氧水、、次氯酸等。
廣譜性：
光催化對從烴到羧酸的種類眾多物都， 環(huán)保署公布的九大類114種污染物均被證實可通過光催化治理，即使對原子物如鹵代烴、染料、含氮物、磷殺蟲劑也有 的去除效果，一般經過持續(xù)反應可達到 凈化。
