稀釋氣流量范圍：（0~5）SLPM、（0~10）SLPM、（0~20）SLPM可選
校正氣流量范圍：（0~50）sccm、（0~100）sccm、（0~200）sccm可選
流量控制精確度：±1%F.S.
流量線性：±（0.5~1）%F.S.
流量控制重復(fù)性：±0.2%F.S.
臭氧發(fā)生器輸出：0.1μmol/mol ~6 μmol/mol（ppm）
響應(yīng)時間：<60s（T98）
標(biāo)氣輸入口：1個
稀釋氣輸入口：1個
工作溫度：5℃～40℃
工作濕度：0~95%RH
尺寸：178mm×432mm×620mm
重量：＜15kg（基本單元）
電源：100VAC~240VAC，45Hz~60Hz
模擬輸出：10V、5V、1V、0.1V（可選）
通訊方式：RS232，RS485和以太網(wǎng)（選配）
