通常采用電暈放電（CoronaDischarge）或輝光放電產(chǎn)生低溫等離子體。換言之，可以認(rèn)為氣體分子借助電能，使其處于電離或激發(fā)狀態(tài)，以致化學(xué)反應(yīng)性非?；顫?。等離子體中含有電子、游離基、離子、紫外光和許多不同激活粒子，視不同氣體介質(zhì)而定。
脈沖電暈等離子體凈化有機(jī)物甲苯技術(shù)是一種物理與化學(xué)相結(jié)合的新方法，其基本原理是利用脈沖放電形成非平衡等離子體，產(chǎn)生大量高能活性粒子，其中電子與甲苯分子碰撞；當(dāng)電子具有的動(dòng)能高于苯環(huán)中C-C鍵結(jié)合能時(shí)，苯環(huán)被打開(kāi)，進(jìn)而被氧化成二氧化碳和水。由于污染氣體大多處于常溫常壓狀態(tài)，需在常溫常壓下獲得非平衡等離子體，因而要求不均勻外電場(chǎng)只加速電子，不加速離子，以控制氣體溫度不使其成為熱等離子體。采用脈沖前沿極短、寬度很窄的高壓脈沖電暈放電，是常溫常壓下得到非平衡等離子體較簡(jiǎn)單、有效的方法。
等離子體的兩個(gè)重要作用
*個(gè)作用是預(yù)荷電集塵。產(chǎn)生的大量電子和正負(fù)離子與空氣中的顆粒發(fā)生非彈性碰撞，附著在上面，形成荷電粒子，它們?cè)谕饧与妶?chǎng)作用下向集塵極遷移，沉積其上，對(duì)于懸浮在空氣中直徑小于100μm的總懸浮顆粒物（TSP）和直徑小于10μm的可吸入顆粒物（PM10）能產(chǎn)生一定的凈化效果。
第二個(gè)作用是能產(chǎn)生大量的負(fù)離子，這些負(fù)離子釋放到室內(nèi)空氣中，一方面能夠調(diào)節(jié)空氣粒子平衡，有利于人體健康：另一方面還能有效清除空氣中的污染物，當(dāng)高濃度的負(fù)離子同空氣中的有毒物質(zhì)和灰塵等顆粒物碰撞后使其帶負(fù)電，這些帶負(fù)電的顆粒物又會(huì)吸引周?chē)鷰д姷念w粒物（包括空氣中的細(xì)菌、病毒和孢子等），増大積聚，后這些顆粒物大到一定程度就會(huì)沉降到地面從而降低了被人體吸入體內(nèi)的危險(xiǎn)。
