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HMDS烘箱真空泵，HMDS系統(tǒng)用油泵

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌雋思
型號(hào)
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2018/5/2 11:45:16
訪問次數(shù)1678

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS HMDS烘箱 HMDS泵 HMDS油泵 HMDS烤箱

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評(píng)，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來！

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HMDS烘箱，百級(jí)潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，PI烤箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺(tái)，超低溫試驗(yàn)箱

產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

測量范圍	133	測量精度	1
外形尺寸	23mm	用途	低壓,真空
重量	30kg

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統(tǒng)用油泵在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統(tǒng)用油泵產(chǎn)品信息

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統(tǒng)用油泵簡介

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統(tǒng)用油泵廣泛應(yīng)用于制冷、電子、化工、醫(yī)藥、食品及科研所實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備和自動(dòng)生產(chǎn)線上。先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念加工更加合理的加工工藝，使各項(xiàng)性能指標(biāo)都達(dá)到了JB/T53017-92一等品標(biāo)準(zhǔn)，其性價(jià)比在同行業(yè)中。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)		DM2	DM4	DM8	DM15
抽氣速率（L/S）		2	4	8	15
極限分壓強(qiáng)（Pa）	氣鎮(zhèn)關(guān)	≤4×10^－2	≤4×10^－2	≤4×10^－2	≤4×10^－2
極限分壓強(qiáng)（Pa）	氣鎮(zhèn)開	≤8×10^－2	≤8×10^－2	≤8×10^－2	≤8×10^－2
極限總壓強(qiáng)（Pa）	氣鎮(zhèn)關(guān)	≤5×10^－1	≤5×10^－1	≤5×10^－1	≤5×10^－1
極限總壓強(qiáng)（Pa）	氣鎮(zhèn)開	≤1	≤1	≤1	≤1
噪聲LP/LW		52/63	54/65	58/71	59/72
水蒸氣抽除率（L/h）		360	520	600	1200
進(jìn)氣口直徑		DN25ISOKF	DN25ISOKF	DN40ISOKF	DN40ISOKF
排氣口直徑		DN25ISOKF	DN25ISOKF	DN40ISOKF	DN40ISOKF
zui高油面工作溫度		80	85	125	130
用油量（L）		1.1	1.5	3.4	4.5
轉(zhuǎn)速r/min		1400	1430	1400	1420
電動(dòng)機(jī)功率（kw）		0.37	0.55	1.1	1.5
重量（kg）		27	36	60	70
外形尺寸（mm）		510×174×274	550×174×274	635×236×383	695×236×383

智能型HMDS烘箱，全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的重要性：
光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會(huì)侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

智能型HMDS烘箱，全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)主要技術(shù)性能：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2500W

控溫范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa（1torr）

工作室尺寸（mm）：450*450*450、350*350*350（可自定義）

智能型HMDS烘箱，全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的*性：

預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能；，有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)